સ્વચ્છ રૂમમાં હવા પ્રવાહ સંગઠનના પ્રભાવશાળી પરિબળો શું છે?

ચિપ ઉત્પાદન ઉદ્યોગમાં ચિપ ઉપજ ચિપ પર જમા થયેલા હવાના કણોના કદ અને સંખ્યા સાથે ગાઢ રીતે સંબંધિત છે. સારી હવા પ્રવાહ સંસ્થા ધૂળના સ્ત્રોતોમાંથી ઉત્પન્ન થતા કણોને સ્વચ્છ ઓરડાથી દૂર લઈ જઈ શકે છે અને સ્વચ્છ ઓરડાની સ્વચ્છતા સુનિશ્ચિત કરી શકે છે. એટલે કે, સ્વચ્છ ઓરડામાં હવા પ્રવાહ સંગઠન ચિપ ઉત્પાદનના ઉપજમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. સ્વચ્છ ઓરડાના હવા પ્રવાહ સંગઠનની ડિઝાઇનમાં પ્રાપ્ત કરવાના લક્ષ્યો છે: હાનિકારક કણોને જાળવી રાખવા માટે પ્રવાહ ક્ષેત્રમાં એડી કરંટ ઘટાડવા અથવા દૂર કરવા; ક્રોસ-પ્રદૂષણ અટકાવવા માટે યોગ્ય હકારાત્મક દબાણ ઢાળ જાળવવા.

સ્વચ્છ ખંડના સિદ્ધાંત મુજબ, કણો પર કાર્ય કરતા બળોમાં દળ બળ, પરમાણુ બળ, કણો વચ્ચેનું આકર્ષણ બળ, હવા પ્રવાહ બળ વગેરેનો સમાવેશ થાય છે.

હવા પ્રવાહ બળ: સપ્લાય અને રીટર્ન એરફ્લો, થર્મલ કન્વેક્શન એરફ્લો, કૃત્રિમ આંદોલન અને કણોને વહન કરવા માટે ચોક્કસ પ્રવાહ દર સાથેના અન્ય એરફ્લોને કારણે થતા હવા પ્રવાહના બળનો ઉલ્લેખ કરે છે. સ્વચ્છ રૂમ પર્યાવરણીય ટેકનોલોજી નિયંત્રણ માટે, હવા પ્રવાહ બળ સૌથી મહત્વપૂર્ણ પરિબળ છે.

પ્રયોગો દર્શાવે છે કે હવાના પ્રવાહની ગતિમાં, કણો લગભગ સમાન ગતિએ હવાના પ્રવાહને અનુસરે છે. હવામાં કણોની સ્થિતિ હવાના પ્રવાહના વિતરણ દ્વારા નક્કી થાય છે. ઘરની અંદરના કણો પર હવાના પ્રવાહની મુખ્ય અસરોમાં શામેલ છે: હવા પુરવઠાનો હવા પ્રવાહ (પ્રાથમિક હવા પ્રવાહ અને ગૌણ હવા પ્રવાહ સહિત), લોકો ચાલવાથી થતી હવા પ્રવાહ અને થર્મલ સંવહન હવા પ્રવાહ, અને પ્રક્રિયા કામગીરી અને ઔદ્યોગિક સાધનો દ્વારા થતી હવાના પ્રવાહની કણો પર અસર. સ્વચ્છ રૂમમાં વિવિધ હવા પુરવઠા પદ્ધતિઓ, ગતિ ઇન્ટરફેસ, ઓપરેટરો અને ઔદ્યોગિક સાધનો, પ્રેરિત ઘટના, વગેરે એ બધા પરિબળો છે જે સ્વચ્છતાના સ્તરને અસર કરે છે.

૧. હવા પુરવઠા પદ્ધતિનો પ્રભાવ

(1) હવા પુરવઠાની ગતિ

એકસરખા હવાના પ્રવાહને સુનિશ્ચિત કરવા માટે, એકતરફી પ્રવાહ સ્વચ્છ રૂમમાં હવા પુરવઠાની ગતિ એકસમાન હોવી જોઈએ; હવા પુરવઠા સપાટી પરનો ડેડ ઝોન નાનો હોવો જોઈએ; અને હેપા ફિલ્ટરમાં દબાણમાં ઘટાડો પણ એકસમાન હોવો જોઈએ.

હવા પુરવઠાની ગતિ એકસમાન છે: એટલે કે, હવાના પ્રવાહની અસમાનતા ±20% ની અંદર નિયંત્રિત થાય છે.

હવા પુરવઠા સપાટી પર ઓછી ડેડ સ્પેસ છે: ફક્ત હેપા ફ્રેમનો પ્લેન એરિયા ઘટાડવો જોઈએ નહીં, પરંતુ વધુ અગત્યનું, રીડન્ડન્ટ ફ્રેમને સરળ બનાવવા માટે મોડ્યુલર FFU નો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.

હવાનો પ્રવાહ ઊભો અને એકતરફી હોય તેની ખાતરી કરવા માટે, ફિલ્ટરનું દબાણ ઘટાડાની પસંદગી પણ ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે, અને તે જરૂરી છે કે ફિલ્ટરની અંદર દબાણ નુકશાન પક્ષપાતી ન હોઈ શકે.

(2) FFU સિસ્ટમ અને અક્ષીય પ્રવાહ ચાહક સિસ્ટમ વચ્ચે સરખામણી

FFU એ એક હવા પુરવઠો એકમ છે જેમાં પંખા અને હેપા ફિલ્ટર હોય છે. FFU ના કેન્દ્રત્યાગી ચાહક દ્વારા હવાને શોષવામાં આવે છે અને હવા નળીમાં ગતિશીલ દબાણને સ્થિર દબાણમાં રૂપાંતરિત કરે છે. તે હેપા ફિલ્ટર દ્વારા સમાનરૂપે બહાર કાઢવામાં આવે છે. છત પર હવા પુરવઠા દબાણ નકારાત્મક દબાણ છે. આ રીતે ફિલ્ટર બદલતી વખતે સ્વચ્છ રૂમમાં કોઈ ધૂળ લીક થશે નહીં. પ્રયોગો દર્શાવે છે કે FFU સિસ્ટમ હવાના આઉટલેટ એકરૂપતા, હવા પ્રવાહ સમાંતરતા અને વેન્ટિલેશન કાર્યક્ષમતા સૂચકાંકના સંદર્ભમાં અક્ષીય પ્રવાહ ચાહક સિસ્ટમ કરતાં શ્રેષ્ઠ છે. આનું કારણ એ છે કે FFU સિસ્ટમનો હવા પ્રવાહ સમાંતરતા વધુ સારી છે. FFU સિસ્ટમનો ઉપયોગ સ્વચ્છ રૂમમાં હવા પ્રવાહ સંગઠનને સુધારી શકે છે.

(3) FFU ની પોતાની રચનાનો પ્રભાવ

FFU મુખ્યત્વે પંખા, ફિલ્ટર્સ, હવા પ્રવાહ માર્ગદર્શિકાઓ અને અન્ય ઘટકોથી બનેલું છે. ડિઝાઇન દ્વારા જરૂરી સ્વચ્છતા પ્રાપ્ત કરવા માટે સ્વચ્છ રૂમ માટે હેપા ફિલ્ટર સૌથી મહત્વપૂર્ણ ગેરંટી છે. ફિલ્ટરની સામગ્રી ફ્લો ફિલ્ડની એકરૂપતાને પણ અસર કરશે. જ્યારે ફિલ્ટર આઉટલેટમાં રફ ફિલ્ટર મટિરિયલ અથવા ફ્લો પ્લેટ ઉમેરવામાં આવે છે, ત્યારે આઉટલેટ ફ્લો ફિલ્ડને સરળતાથી એકસમાન બનાવી શકાય છે.

2. વિવિધ સ્વચ્છતા સાથે સ્પીડ ઇન્ટરફેસની અસર

એ જ સ્વચ્છ રૂમમાં, કાર્યક્ષેત્ર અને બિન-કાર્યક્ષેત્ર વચ્ચે, જ્યાં ઊભી એકદિશ પ્રવાહ હોય છે, હેપા બોક્સ પર હવાની ગતિમાં તફાવત હોવાને કારણે, ઇન્ટરફેસ પર મિશ્ર વમળ અસર થશે, અને આ ઇન્ટરફેસ એક તોફાની એરફ્લો ઝોન બનશે. હવાના તોફાનની તીવ્રતા ખાસ કરીને મજબૂત હોય છે, અને કણો ઉપકરણ મશીનની સપાટી પર પ્રસારિત થઈ શકે છે અને ઉપકરણો અને વેફર્સને દૂષિત કરી શકે છે.

૩. સ્ટાફ અને સાધનો પર અસર

જ્યારે સ્વચ્છ ઓરડો ખાલી હોય છે, ત્યારે ઓરડામાં હવા પ્રવાહની લાક્ષણિકતાઓ સામાન્ય રીતે ડિઝાઇન આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરે છે. એકવાર સાધનો સ્વચ્છ રૂમમાં પ્રવેશ કરે છે, લોકો સ્થળાંતર કરે છે અને ઉત્પાદનોનું પરિવહન થાય છે, ત્યારે હવા પ્રવાહ સંગઠનમાં અનિવાર્યપણે અવરોધો આવે છે, જેમ કે સાધન મશીનમાંથી બહાર નીકળતા તીક્ષ્ણ બિંદુઓ. ખૂણા અથવા કિનારીઓ પર, ગેસ એક તોફાની પ્રવાહ વિસ્તાર બનાવવા માટે વાળશે, અને તે વિસ્તારમાં પ્રવાહી આવનારા ગેસ દ્વારા સરળતાથી વહન કરવામાં આવશે નહીં, આમ પ્રદૂષણ થશે.

તે જ સમયે, સતત કામગીરીને કારણે યાંત્રિક ઉપકરણોની સપાટી ગરમ થશે, અને તાપમાનના ઢાળને કારણે મશીનની નજીક રિફ્લો વિસ્તાર બનશે, જે રિફ્લો વિસ્તારમાં કણોના સંચયમાં વધારો કરશે. તે જ સમયે, ઉચ્ચ તાપમાન કણોને સરળતાથી બહાર નીકળી જશે. દ્વિ અસર એકંદર ઊભી સ્તરને તીવ્ર બનાવે છે. પ્રવાહની સ્વચ્છતાને નિયંત્રિત કરવામાં મુશ્કેલી. સ્વચ્છ રૂમમાં ઓપરેટરોમાંથી ધૂળ આ રિફ્લો વિસ્તારોમાં વેફર્સને સરળતાથી વળગી શકે છે.

૪. રીટર્ન એર ફ્લોરનો પ્રભાવ

જ્યારે ફ્લોરમાંથી પસાર થતી રીટર્ન એરનો પ્રતિકાર અલગ હોય છે, ત્યારે દબાણમાં તફાવત આવશે, જેના કારણે હવા નાના પ્રતિકારની દિશામાં વહેશે, અને એકસમાન હવા પ્રવાહ પ્રાપ્ત થશે નહીં. હાલની લોકપ્રિય ડિઝાઇન પદ્ધતિ એલિવેટેડ ફ્લોરનો ઉપયોગ કરવાની છે. જ્યારે એલિવેટેડ ફ્લોરનો ઓપનિંગ રેશિયો 10% હોય છે, ત્યારે હવાના પ્રવાહનો વેગ ઘરની અંદરની કાર્યકારી ઊંચાઈ પર સમાનરૂપે વિતરિત કરી શકાય છે. વધુમાં, ફ્લોર પર પ્રદૂષણના સ્ત્રોતને ઘટાડવા માટે સફાઈ કાર્ય પર કડક ધ્યાન આપવું જોઈએ.

5. ઇન્ડક્શન ઘટના

કહેવાતી ઇન્ડક્શન ઘટના એ એકસમાન પ્રવાહની વિરુદ્ધ દિશામાં હવા પ્રવાહ ઉત્પન્ન કરવાની ઘટનાનો ઉલ્લેખ કરે છે, જે રૂમમાં ઉત્પન્ન થતી ધૂળ અથવા નજીકના દૂષિત વિસ્તારોમાં ધૂળને ઉપરની બાજુએ પ્રેરે છે, જેના કારણે ધૂળ વેફરને દૂષિત કરે છે. શક્ય પ્રેરિત ઘટનાઓમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

(1) બ્લાઇન્ડ પ્લેટ

ઊભી એક-માર્ગી પ્રવાહ ધરાવતા સ્વચ્છ રૂમમાં, દિવાલ પરના સાંધાઓને કારણે, સામાન્ય રીતે મોટા બ્લાઇન્ડ પેનલ હોય છે જે તોફાની પ્રવાહ અને સ્થાનિક બેકફ્લો ઉત્પન્ન કરશે.

(2) દીવા

સ્વચ્છ રૂમમાં લાઇટિંગ ફિક્સરનો વધુ પ્રભાવ પડશે. ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પની ગરમી હવાના પ્રવાહમાં વધારો કરે છે, તેથી ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પ તોફાની વિસ્તાર બનશે નહીં. સામાન્ય રીતે, સ્વચ્છ રૂમમાં લેમ્પ્સને આંસુના ટીપાના આકારમાં ડિઝાઇન કરવામાં આવે છે જેથી હવાના પ્રવાહના સંગઠન પર લેમ્પ્સની અસર ઓછી થાય.

(૩) દિવાલો વચ્ચે ગાબડાં

જ્યારે પાર્ટીશન દિવાલો અથવા છત વચ્ચે વિવિધ સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓ હોય છે, ત્યારે ઓછી સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓવાળા વિસ્તારોની ધૂળ ઉચ્ચ સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓવાળા નજીકના વિસ્તારોમાં ટ્રાન્સફર થઈ શકે છે.

(૪) યાંત્રિક સાધનો અને ફ્લોર અથવા દિવાલ વચ્ચેનું અંતર

જો યાંત્રિક સાધનો અને ફ્લોર અથવા દિવાલ વચ્ચેનું અંતર નાનું હોય, તો રિબાઉન્ડ ટર્બ્યુલન્સ થશે. તેથી, ઉપકરણ અને દિવાલ વચ્ચે એક અંતર રાખો અને મશીન પ્લેટફોર્મ ઊંચો કરો જેથી જમીન સાથે સીધો સંપર્ક ન થાય.