સ્વચ્છ રૂમમાં હવાના પ્રવાહની સંસ્થાને પ્રભાવિત કરનારા પરિબળો શું છે?

ચિપ ઉત્પાદન ઉદ્યોગમાં ચિપ ઉપજ ચિપ પર જમા થયેલ હવાના કણોના કદ અને સંખ્યા સાથે ગાઢ રીતે સંબંધિત છે. હવાના પ્રવાહની સારી સંસ્થા ધૂળના સ્ત્રોતોમાંથી પેદા થતા કણોને સ્વચ્છ રૂમથી દૂર લઈ શકે છે અને ક્લીનરૂમની સ્વચ્છતા સુનિશ્ચિત કરી શકે છે. એટલે કે, ક્લીનરૂમમાં હવાના પ્રવાહનું સંગઠન ચિપ ઉત્પાદનની ઉપજમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. ક્લીન રૂમ એર ફ્લો ઓર્ગેનાઈઝેશનની ડિઝાઇનમાં હાંસલ કરવાના લક્ષ્યો છે: હાનિકારક કણોની જાળવણીને ટાળવા માટે પ્રવાહ ક્ષેત્રમાં એડી પ્રવાહોને ઘટાડવા અથવા દૂર કરવા; ક્રોસ-પ્રદૂષણને રોકવા માટે યોગ્ય હકારાત્મક દબાણ ઢાળ જાળવવા.

સ્વચ્છ ઓરડાના સિદ્ધાંત મુજબ, કણો પર કાર્ય કરતા દળોમાં સમૂહ બળ, પરમાણુ બળ, કણો વચ્ચેનું આકર્ષણ, વાયુ પ્રવાહ બળ વગેરેનો સમાવેશ થાય છે.

એરફ્લો ફોર્સ: સપ્લાય અને રીટર્ન એરફ્લો, થર્મલ કન્વેક્શન એરફ્લો, કૃત્રિમ આંદોલન અને કણોને વહન કરવા માટે ચોક્કસ પ્રવાહ દર સાથેના અન્ય એરફ્લોને કારણે હવાના પ્રવાહના બળનો ઉલ્લેખ કરે છે. સ્વચ્છ રૂમ પર્યાવરણીય ટેકનોલોજી નિયંત્રણ માટે, હવા પ્રવાહ બળ સૌથી મહત્વપૂર્ણ પરિબળ છે.

પ્રયોગોએ દર્શાવ્યું છે કે હવાના પ્રવાહની ગતિમાં, કણો લગભગ બરાબર એ જ ઝડપે હવાના પ્રવાહને અનુસરે છે. હવામાં કણોની સ્થિતિ હવાના પ્રવાહના વિતરણ દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે. ઇન્ડોર કણો પર એરફ્લોની મુખ્ય અસરોમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે: હવા પુરવઠો એરફ્લો (પ્રાથમિક એરફ્લો અને સેકન્ડરી એરફ્લો સહિત), લોકો ચાલવાને કારણે એરફ્લો અને થર્મલ કન્વેક્શન એરફ્લો અને પ્રોસેસ ઓપરેશન્સ અને ઔદ્યોગિક સાધનોને કારણે કણો પર એરફ્લોની અસર. ક્લીનરૂમમાં હવા પુરવઠાની વિવિધ પદ્ધતિઓ, સ્પીડ ઈન્ટરફેસ, ઓપરેટરો અને ઔદ્યોગિક સાધનો, પ્રેરિત ઘટના વગેરે તમામ પરિબળો સ્વચ્છતા સ્તરને અસર કરે છે.

1. હવા પુરવઠાની પદ્ધતિનો પ્રભાવ

(1) હવા પુરવઠાની ઝડપ

એકસમાન હવાના પ્રવાહને સુનિશ્ચિત કરવા માટે, દિશાહીન પ્રવાહ સ્વચ્છ રૂમમાં હવા પુરવઠાની ગતિ સમાન હોવી જોઈએ; હવા પુરવઠાની સપાટી પરનો ડેડ ઝોન નાનો હોવો જોઈએ; અને હેપા ફિલ્ટરની અંદર પ્રેશર ડ્રોપ પણ એકસમાન હોવું જોઈએ.

હવા પુરવઠાની ગતિ સમાન છે: એટલે કે, હવાના પ્રવાહની અસમાનતા ±20% ની અંદર નિયંત્રિત થાય છે.

હવા પુરવઠાની સપાટી પર ઓછી ડેડ સ્પેસ છે: માત્ર હેપા ફ્રેમના પ્લેન એરિયાને ઘટાડવો જોઈએ નહીં, પરંતુ વધુ મહત્ત્વની વાત એ છે કે, રીડન્ડન્ટ ફ્રેમને સરળ બનાવવા માટે મોડ્યુલર FFU નો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.

હવાનો પ્રવાહ લંબરૂપ અને દિશાવિહીન છે તેની ખાતરી કરવા માટે, ફિલ્ટરની પ્રેશર ડ્રોપની પસંદગી પણ ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે, અને તે જરૂરી છે કે ફિલ્ટરની અંદરના દબાણના નુકશાનને પક્ષપાતી ન કરી શકાય.

(2) FFU સિસ્ટમ અને અક્ષીય ફ્લો ફેન સિસ્ટમ વચ્ચે સરખામણી

FFU એ પંખો અને હેપા ફિલ્ટર સાથેનું એર સપ્લાય યુનિટ છે. FFU ના કેન્દ્રત્યાગી ચાહક દ્વારા હવાને ખેંચવામાં આવે છે અને હવાની નળીમાં ગતિશીલ દબાણને સ્થિર દબાણમાં રૂપાંતરિત કરે છે. તે હેપા ફિલ્ટર દ્વારા સમાનરૂપે ફૂંકાય છે. છત પર હવા પુરવઠાનું દબાણ નકારાત્મક દબાણ છે. આ રીતે ફિલ્ટરને બદલતી વખતે સ્વચ્છ રૂમમાં કોઈ ધૂળ લીક થશે નહીં. પ્રયોગોએ દર્શાવ્યું છે કે FFU સિસ્ટમ એર આઉટલેટ એકરૂપતા, હવાના પ્રવાહની સમાનતા અને વેન્ટિલેશન કાર્યક્ષમતા સૂચકાંકના સંદર્ભમાં અક્ષીય ફ્લો ફેન સિસ્ટમ કરતાં શ્રેષ્ઠ છે. આ એટલા માટે છે કારણ કે FFU સિસ્ટમની હવાના પ્રવાહની સમાનતા વધુ સારી છે. FFU સિસ્ટમનો ઉપયોગ સ્વચ્છ રૂમમાં હવાના પ્રવાહના સંગઠનને સુધારી શકે છે.

(3) FFU ની પોતાની રચનાનો પ્રભાવ

FFU મુખ્યત્વે ચાહકો, ફિલ્ટર્સ, એર ફ્લો માર્ગદર્શિકાઓ અને અન્ય ઘટકોથી બનેલું છે. હેપા ફિલ્ટર એ ડિઝાઇન દ્વારા જરૂરી સ્વચ્છતા પ્રાપ્ત કરવા માટે સ્વચ્છ રૂમ માટે સૌથી મહત્વપૂર્ણ ગેરંટી છે. ફિલ્ટરની સામગ્રી ફ્લો ફિલ્ડની એકરૂપતાને પણ અસર કરશે. જ્યારે ફિલ્ટર આઉટલેટમાં રફ ફિલ્ટર સામગ્રી અથવા ફ્લો પ્લેટ ઉમેરવામાં આવે છે, ત્યારે આઉટલેટ ફ્લો ફીલ્ડને સરળતાથી સમાન બનાવી શકાય છે.

2. વિવિધ સ્વચ્છતા સાથે ઝડપ ઇન્ટરફેસની અસર

સમાન સ્વચ્છ રૂમમાં, વર્ટીકલ યુનિડાયરેક્શનલ ફ્લો સાથે વર્કિંગ એરિયા અને નોન-વર્કિંગ એરિયા વચ્ચે, હેપા બોક્સમાં હવાની ગતિમાં તફાવતને કારણે, ઇન્ટરફેસ પર મિશ્ર વમળની અસર થશે, અને આ ઇન્ટરફેસ તોફાની બની જશે. એરફ્લો ઝોન. એર ટર્બ્યુલન્સની તીવ્રતા ખાસ કરીને મજબૂત છે, અને કણો સાધન મશીનની સપાટી પર પ્રસારિત થઈ શકે છે અને સાધનો અને વેફર્સને દૂષિત કરી શકે છે.

3. સ્ટાફ અને સાધનો પર અસર

જ્યારે સ્વચ્છ ઓરડો ખાલી હોય, ત્યારે રૂમમાં હવાના પ્રવાહની લાક્ષણિકતાઓ સામાન્ય રીતે ડિઝાઇનની જરૂરિયાતોને પૂર્ણ કરે છે. એકવાર સાધનસામગ્રી ક્લીનરૂમમાં પ્રવેશે છે, લોકો ખસેડે છે અને ઉત્પાદનોનું પરિવહન થાય છે, ત્યાં અનિવાર્યપણે હવાના પ્રવાહના સંગઠનમાં અવરોધો આવે છે, જેમ કે સાધન મશીનમાંથી તીક્ષ્ણ બિંદુઓ બહાર નીકળે છે. ખૂણાઓ અથવા કિનારીઓ પર, ગેસ એક અશાંત પ્રવાહ વિસ્તાર બનાવવા માટે વાળશે, અને આ વિસ્તારમાં પ્રવાહીને આવનારા ગેસ દ્વારા સરળતાથી વહન કરવામાં આવશે નહીં, આમ પ્રદૂષણનું કારણ બને છે.

તે જ સમયે, સતત કામગીરીને કારણે યાંત્રિક સાધનોની સપાટી ગરમ થશે, અને તાપમાનના ઢાળને કારણે મશીનની નજીક રિફ્લો વિસ્તાર બનશે, જે રિફ્લો વિસ્તારમાં કણોના સંચયને વધારે છે. તે જ સમયે, ઉચ્ચ તાપમાન કણો સરળતાથી બહાર નીકળી જશે. ડ્યુઅલ ઇફેક્ટ એકંદર વર્ટિકલ લેયરને વધુ તીવ્ર બનાવે છે. પ્રવાહની સ્વચ્છતાને નિયંત્રિત કરવામાં મુશ્કેલી. સ્વચ્છ રૂમમાં ઓપરેટરોની ધૂળ આ રીફ્લો વિસ્તારોમાં વેફર્સને સરળતાથી વળગી શકે છે.

4. રીટર્ન એર ફ્લોરનો પ્રભાવ

જ્યારે ફ્લોરમાંથી પસાર થતી રીટર્ન એરનો પ્રતિકાર અલગ હોય છે, ત્યારે દબાણમાં તફાવત આવશે, જેના કારણે હવા નાના પ્રતિકારની દિશામાં વહે છે, અને સમાન હવાનો પ્રવાહ પ્રાપ્ત થશે નહીં. હાલની લોકપ્રિય ડિઝાઇન પદ્ધતિ એ એલિવેટેડ ફ્લોરનો ઉપયોગ કરવાની છે. જ્યારે એલિવેટેડ ફ્લોરનો ઉદઘાટન ગુણોત્તર 10% હોય છે, ત્યારે હવાના પ્રવાહ વેગને અંદરની કાર્યકારી ઊંચાઈ પર સમાનરૂપે વિતરિત કરી શકાય છે. વધુમાં, ફ્લોર પરના પ્રદૂષણના સ્ત્રોતને ઘટાડવા માટે સફાઈ કામ પર સખત ધ્યાન આપવું જોઈએ.

5. ઇન્ડક્શનની ઘટના

કહેવાતી ઇન્ડક્શન ઘટના એ એકસમાન પ્રવાહની વિરુદ્ધ દિશામાં હવાના પ્રવાહને ઉત્પન્ન કરવાની ઘટનાનો ઉલ્લેખ કરે છે, ઓરડામાં પેદા થતી ધૂળ અથવા અડીને આવેલા દૂષિત વિસ્તારોમાં ધૂળને ઉપરની તરફ પ્રેરિત કરે છે, જેનાથી ધૂળ વેફરને દૂષિત કરે છે. સંભવિત પ્રેરિત ઘટનાઓમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

(1) બ્લાઇન્ડ પ્લેટ

વર્ટિકલ વન-વે ફ્લો સાથે સ્વચ્છ રૂમમાં, દિવાલ પરના સાંધાને કારણે, સામાન્ય રીતે મોટી બ્લાઇન્ડ પેનલ્સ હોય છે જે અશાંત પ્રવાહ અને સ્થાનિક બેકફ્લો પેદા કરશે.

(2) દીવા

સ્વચ્છ રૂમમાં લાઇટિંગ ફિક્સર વધુ અસર કરશે. ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પની ગરમીને કારણે હવાના પ્રવાહમાં વધારો થાય છે, ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પ અશાંત વિસ્તાર બનશે નહીં. સામાન્ય રીતે, હવાના પ્રવાહના સંગઠન પર લેમ્પ્સની અસર ઘટાડવા માટે સ્વચ્છ રૂમમાં લેમ્પને ટિયરડ્રોપ આકારમાં ડિઝાઇન કરવામાં આવે છે.

(3) દિવાલો વચ્ચે ગાબડા

જ્યારે અલગ-અલગ સ્વચ્છતા જરૂરિયાતો સાથે પાર્ટીશનની દિવાલો અથવા છત વચ્ચે અંતર હોય છે, ત્યારે ઓછી સ્વચ્છતા જરૂરિયાતો ધરાવતા વિસ્તારોમાંથી ધૂળને ઉચ્ચ સ્વચ્છતા જરૂરિયાતો સાથે નજીકના વિસ્તારોમાં સ્થાનાંતરિત કરી શકાય છે.

(4) યાંત્રિક સાધનો અને ફ્લોર અથવા દિવાલ વચ્ચેનું અંતર

જો યાંત્રિક સાધનો અને ફ્લોર અથવા દિવાલ વચ્ચેનું અંતર નાનું હોય, તો રિબાઉન્ડ ટર્બ્યુલન્સ થશે. તેથી, સાધનસામગ્રી અને દિવાલ વચ્ચે અંતર છોડી દો અને જમીન સાથે સીધો સંપર્ક ટાળવા માટે મશીન પ્લેટફોર્મને ઉભા કરો.