ક્લીન રૂમમાં હવા પ્રવાહ સંસ્થાના પ્રભાવશાળી પરિબળો શું છે?

ચિપ મેન્યુફેક્ચરિંગ ઉદ્યોગમાં ચિપ ઉપજ ચિપ પર જમા થયેલ હવાના કણોના કદ અને સંખ્યા સાથે નજીકથી સંબંધિત છે. સારી હવા પ્રવાહ સંસ્થા સ્વચ્છ ઓરડાથી દૂર ધૂળના સ્રોતોમાંથી ઉત્પન્ન થયેલ કણો લઈ શકે છે અને ક્લીનરૂમની સ્વચ્છતાની ખાતરી કરી શકે છે. એટલે કે, ક્લીનરૂમમાં હવા પ્રવાહ સંસ્થા ચિપ ઉત્પાદનની ઉપજમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. સ્વચ્છ રૂમ એર ફ્લો સંગઠનની રચનામાં પ્રાપ્ત થવાના લક્ષ્યો છે: હાનિકારક કણોને જાળવી રાખવા માટે ફ્લો ક્ષેત્રમાં એડી પ્રવાહોને ઘટાડવા અથવા દૂર કરવા; ક્રોસ-દૂષણને રોકવા માટે યોગ્ય સકારાત્મક દબાણ grad ાળ જાળવવા.

ક્લીન રૂમના સિદ્ધાંત અનુસાર, કણો પર કામ કરતી દળોમાં સામૂહિક બળ, પરમાણુ બળ, કણો વચ્ચેનું આકર્ષણ, હવા પ્રવાહ બળ, વગેરેનો સમાવેશ થાય છે.

એરફ્લો ફોર્સ: કણોને વહન કરવા માટે ચોક્કસ પ્રવાહ દર સાથે સપ્લાય અને રીટર્ન એરફ્લો, થર્મલ કન્વેક્શન એરફ્લો, કૃત્રિમ આંદોલન અને અન્ય એરફ્લોને કારણે એરફ્લોના બળનો સંદર્ભ આપે છે. સ્વચ્છ રૂમ પર્યાવરણીય તકનીકી નિયંત્રણ માટે, હવા પ્રવાહ બળ એ સૌથી મહત્વપૂર્ણ પરિબળ છે.

પ્રયોગોએ બતાવ્યું છે કે એરફ્લો હિલચાલમાં, કણો લગભગ બરાબર તે જ ગતિએ એરફ્લોને અનુસરે છે. હવામાં કણોની સ્થિતિ એરફ્લો વિતરણ દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે. ઇન્ડોર કણો પર એરફ્લોના મુખ્ય પ્રભાવોમાં શામેલ છે: એર સપ્લાય એરફ્લો (પ્રાથમિક એરફ્લો અને ગૌણ એરફ્લો સહિત), લોકો ચાલતા લોકો દ્વારા થતાં એરફ્લો અને થર્મલ કન્વેક્શન એરફ્લો, અને પ્રક્રિયા કામગીરી અને industrial દ્યોગિક ઉપકરણોને કારણે કણો પર એરફ્લોની અસર. ક્લિનરૂમમાં વિવિધ હવા પુરવઠા પદ્ધતિઓ, સ્પીડ ઇન્ટરફેસો, tors પરેટર્સ અને industrial દ્યોગિક સાધનો, પ્રેરિત ઘટના, વગેરે એ બધા પરિબળો છે જે સ્વચ્છતાના સ્તરને અસર કરે છે.

1. હવા પુરવઠાની પદ્ધતિનો પ્રભાવ

(1) હવા પુરવઠાની ગતિ

સમાન હવાના પ્રવાહને સુનિશ્ચિત કરવા માટે, યુનિડેરેક્શનલ ફ્લો ક્લીન રૂમમાં હવા પુરવઠાની ગતિ સમાન હોવી આવશ્યક છે; હવા પુરવઠાની સપાટી પરનો ડેડ ઝોન નાનો હોવો જોઈએ; અને એચ.પી.એ. ફિલ્ટરની અંદર પ્રેશર ડ્રોપ પણ સમાન હોવું જોઈએ.

હવા પુરવઠાની ગતિ સમાન છે: એટલે કે, હવાના પ્રવાહની અસમાનતા ± 20%ની અંદર નિયંત્રિત થાય છે.

હવાઈ ​​પુરવઠાની સપાટી પર ઓછી મૃત જગ્યા છે: એચ.પી.એ. ફ્રેમના વિમાન ક્ષેત્રને માત્ર ઘટાડવો જોઈએ નહીં, પરંતુ વધુ મહત્ત્વની વાત એ છે કે, રીડન્ડન્ટ ફ્રેમને સરળ બનાવવા માટે મોડ્યુલર એફએફયુનો ઉપયોગ કરવો જોઈએ.

હવાનો પ્રવાહ ical ભી અને દિશા નિર્દેશીય છે તેની ખાતરી કરવા માટે, ફિલ્ટરની પ્રેશર ડ્રોપ પસંદગી પણ ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે, અને તે જરૂરી છે કે ફિલ્ટરની અંદર દબાણનું નુકસાન પક્ષપાતી ન થઈ શકે.

(2) એફએફયુ સિસ્ટમ અને અક્ષીય પ્રવાહ ચાહક સિસ્ટમ વચ્ચેની તુલના

એફએફયુ એ ચાહક અને હેપા ફિલ્ટર સાથે એર સપ્લાય યુનિટ છે. એફએફયુના કેન્દ્રત્યાગી ચાહક દ્વારા હવા ચૂસી લેવામાં આવે છે અને ગતિશીલ દબાણને હવાના નળીમાં સ્થિર દબાણમાં ફેરવે છે. તે HEPA ફિલ્ટર દ્વારા સમાનરૂપે ફૂંકાય છે. છત પર હવા પુરવઠો દબાણ નકારાત્મક દબાણ છે. ફિલ્ટરને બદલતી વખતે આ રીતે કોઈ ધૂળ સ્વચ્છ રૂમમાં પ્રવેશ કરશે નહીં. પ્રયોગો દર્શાવે છે કે એફએફયુ સિસ્ટમ એર આઉટલેટ એકરૂપતા, હવા પ્રવાહ સમાંતર અને વેન્ટિલેશન કાર્યક્ષમતા સૂચકાંકની દ્રષ્ટિએ અક્ષીય પ્રવાહ ચાહક સિસ્ટમ કરતા શ્રેષ્ઠ છે. આ એટલા માટે છે કારણ કે એફએફયુ સિસ્ટમની હવા પ્રવાહ સમાંતર વધુ સારી છે. એફએફયુ સિસ્ટમનો ઉપયોગ ક્લીન રૂમમાં હવા પ્રવાહ સંસ્થાને સુધારી શકે છે.

()) એફએફયુની પોતાની રચનાનો પ્રભાવ

એફએફયુ મુખ્યત્વે ચાહકો, ફિલ્ટર્સ, હવા પ્રવાહ માર્ગદર્શિકાઓ અને અન્ય ઘટકોથી બનેલું છે. ડિઝાઇન દ્વારા જરૂરી સ્વચ્છતા પ્રાપ્ત કરવા માટે સ્વચ્છ રૂમ માટે એચ.પી.એ. ફિલ્ટર એ સૌથી મહત્વપૂર્ણ ગેરંટી છે. ફિલ્ટરની સામગ્રી પણ પ્રવાહ ક્ષેત્રની એકરૂપતાને અસર કરશે. જ્યારે રફ ફિલ્ટર સામગ્રી અથવા ફ્લો પ્લેટ ફિલ્ટર આઉટલેટમાં ઉમેરવામાં આવે છે, ત્યારે આઉટલેટ ફ્લો ફીલ્ડ સરળતાથી સમાન બનાવી શકાય છે.

2. વિવિધ સ્વચ્છતા સાથે સ્પીડ ઇન્ટરફેસની અસર

તે જ સ્વચ્છ રૂમમાં, કાર્યકારી ક્ષેત્ર અને vert ભી એક દિશા નિર્દેશક પ્રવાહવાળા બિન-કાર્યકારી ક્ષેત્રની વચ્ચે, એચ.પી.એ. બ at ક્સમાં હવાની ગતિના તફાવતને કારણે, મિશ્રિત વમળ અસર ઇન્ટરફેસ પર થશે, અને આ ઇન્ટરફેસ એક તોફાની બનશે. એરફ્લો ઝોન. હવાઈ ​​અસ્થિરતાની તીવ્રતા ખાસ કરીને મજબૂત છે, અને કણો ઉપકરણોની મશીનની સપાટી પર પ્રસારિત થઈ શકે છે અને ઉપકરણો અને વેફરને દૂષિત કરે છે.

3. સ્ટાફ અને સાધનો પર અસર

જ્યારે ક્લીન રૂમ ખાલી હોય, ત્યારે રૂમમાં હવાના પ્રવાહની લાક્ષણિકતાઓ સામાન્ય રીતે ડિઝાઇન આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરે છે. એકવાર ઉપકરણો ક્લીનૂમમાં પ્રવેશ્યા પછી, લોકો ખસેડે છે અને ઉત્પાદનો પરિવહન થાય છે, ત્યાં હવાના પ્રવાહ સંગઠનમાં અનિવાર્યપણે અવરોધો છે, જેમ કે સાધન મશીનમાંથી બહાર નીકળેલા તીક્ષ્ણ પોઇન્ટ્સ. ખૂણા અથવા ધાર પર, ગેસ એક તોફાની પ્રવાહ વિસ્તારની રચના કરશે, અને આ વિસ્તારમાં પ્રવાહી સરળતાથી આવતા ગેસ દ્વારા દૂર કરવામાં આવશે નહીં, આમ પ્રદૂષણનું કારણ બને છે.

તે જ સમયે, સતત કામગીરીને કારણે યાંત્રિક ઉપકરણોની સપાટી ગરમ કરવામાં આવશે, અને તાપમાનના grad ાળ મશીનની નજીક રિફ્લો વિસ્તારનું કારણ બનશે, જે રિફ્લો વિસ્તારમાં કણોના સંચયમાં વધારો કરે છે. તે જ સમયે, temperature ંચા તાપમાને સરળતાથી કણો છટકી જશે. ડ્યુઅલ અસર એકંદર ical ભી સ્તરને તીવ્ર બનાવે છે. પ્રવાહની સ્વચ્છતાને નિયંત્રિત કરવાની મુશ્કેલી. ક્લીન રૂમમાં tors પરેટર્સની ધૂળ આ રિફ્લો વિસ્તારોમાં સરળતાથી વેફરનું પાલન કરી શકે છે.

4. રીટર્ન એર ફ્લોરનો પ્રભાવ

જ્યારે ફ્લોરમાંથી પસાર થતી રીટર્ન હવાનો પ્રતિકાર અલગ હોય છે, ત્યારે દબાણનો તફાવત થશે, જેના કારણે હવા નાના પ્રતિકારની દિશામાં વહે છે, અને સમાન હવાના પ્રવાહ પ્રાપ્ત થશે નહીં. વર્તમાન લોકપ્રિય ડિઝાઇન પદ્ધતિ એલિવેટેડ ફ્લોરનો ઉપયોગ કરવાની છે. જ્યારે એલિવેટેડ ફ્લોરનો ઉદઘાટન ગુણોત્તર 10%હોય છે, ત્યારે હવાના પ્રવાહનો વેગ ઇનડોર વર્કિંગ height ંચાઇ પર સમાનરૂપે વિતરિત કરી શકાય છે. આ ઉપરાંત, ફ્લોર પરના પ્રદૂષણના સ્ત્રોતને ઘટાડવા માટે સફાઈના કામ પર કડક ધ્યાન આપવું જોઈએ.

5. ઇન્ડક્શન ઘટના

કહેવાતી ઇન્ડક્શનની ઘટના સમાન પ્રવાહની વિરુદ્ધ દિશામાં એરફ્લો ઉત્પન્ન કરવાની ઘટનાનો સંદર્ભ આપે છે, જે બાજુના દૂષિત વિસ્તારોમાં ઓરડામાં અથવા ધૂળમાં પેદા થતી ધૂળને પ્રેરિત કરે છે, જેના કારણે ધૂળ વેફરને દૂષિત કરે છે. શક્ય પ્રેરિત ઘટનામાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે:

(1) બ્લાઇન્ડ પ્લેટ

દિવાલ પરના સાંધાને લીધે, vert ભી એક-વે પ્રવાહવાળા સ્વચ્છ રૂમમાં, સામાન્ય રીતે મોટી અંધ પેનલ્સ હોય છે જે તોફાની પ્રવાહ અને સ્થાનિક બેકફ્લો ઉત્પન્ન કરશે.

(2) લેમ્પ્સ

સ્વચ્છ રૂમમાં લાઇટિંગ ફિક્સરનો વધુ પ્રભાવ પડશે. ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પની ગરમીથી એરફ્લો વધવાનું કારણ બને છે, તેથી ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પ એક તોફાની વિસ્તાર બનશે નહીં. સામાન્ય રીતે, ક્લીન રૂમમાં લેમ્પ્સ એરફ્લો સંસ્થા પરના દીવાઓની અસરને ઘટાડવા માટે ટીઅરડ્રોપ આકારમાં બનાવવામાં આવે છે.

()) દિવાલો વચ્ચેના ગાબડા

જ્યારે પાર્ટીશન દિવાલો અથવા વિવિધ સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓ સાથે છત વચ્ચેના ગાબડા હોય છે, ત્યારે ઓછી સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓવાળા વિસ્તારોમાંથી ધૂળ ઉચ્ચ સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓવાળા નજીકના વિસ્તારોમાં સ્થાનાંતરિત થઈ શકે છે.

()) યાંત્રિક ઉપકરણો અને ફ્લોર અથવા દિવાલ વચ્ચેનું અંતર

જો યાંત્રિક ઉપકરણો અને ફ્લોર અથવા દિવાલ વચ્ચેનો અંતર નાનો છે, તો રીબાઉન્ડ અશાંતિ થશે. તેથી, સાધનસામગ્રી અને દિવાલ વચ્ચેનું અંતર છોડી દો અને જમીન સાથે સીધો સંપર્ક ટાળવા માટે મશીન પ્લેટફોર્મ વધારવો.