ક્લીન રૂમમાં એરફ્લો સંસ્થાને અસર કરતા પરિબળો કયા છે?

આઇસી મેન્યુફેક્ચરિંગ ઉદ્યોગમાં ચિપ ઉપજ દર ચિપ પર જમા થયેલ હવાના કણોના કદ અને સંખ્યા સાથે નજીકથી સંબંધિત છે. ક્લીન રૂમની સ્વચ્છતાની ખાતરી કરવા માટે, ક્લીન રૂમની સ્વચ્છતાની સુનિશ્ચિત કરવા માટે, એક સારી એરફ્લો સંસ્થા, સ્વચ્છ રૂમથી ડસ્ટ સ્રોત દ્વારા પેદા કરેલા કણોને લઈ શકે છે, એટલે કે, ક્લીન રૂમમાં એરફ્લો સંસ્થા આઇસી ઉત્પાદનના ઉપજ દરમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે. ક્લીન રૂમમાં એરફ્લો સંસ્થાની રચનાને નીચેના લક્ષ્યો પ્રાપ્ત કરવાની જરૂર છે: હાનિકારક કણોની જાળવણીને ટાળવા માટે ફ્લો ક્ષેત્રમાં એડી પ્રવાહને ઘટાડવા અથવા દૂર કરો; ક્રોસ દૂષણને રોકવા માટે યોગ્ય હકારાત્મક દબાણ grad ાળ જાળવો.

હવાઈ ​​પ્રવાહની શક્તિ

ક્લીન રૂમના સિદ્ધાંત મુજબ, કણો પર કામ કરતી દળોમાં સામૂહિક બળ, પરમાણુ બળ, કણો વચ્ચેનું આકર્ષણ, એરફ્લો બળ, વગેરે શામેલ છે.

એરફ્લો ફોર્સ: કણોને વહન કરવા માટે ચોક્કસ પ્રવાહ દર સાથે ડિલિવરી, રીટર્ન એરફ્લો, થર્મલ કન્વેક્શન એરફ્લો, કૃત્રિમ જગાડવો અને અન્ય એરફ્લો દ્વારા થતાં એરફ્લોના બળનો સંદર્ભ આપે છે. સ્વચ્છ રૂમના વાતાવરણના તકનીકી નિયંત્રણ માટે, એરફ્લો બળ એ સૌથી મહત્વપૂર્ણ પરિબળ છે.

પ્રયોગોએ બતાવ્યું છે કે એરફ્લો હિલચાલમાં, કણો લગભગ સમાન ગતિએ એરફ્લો ચળવળને અનુસરે છે. હવામાં કણોની સ્થિતિ એરફ્લો વિતરણ દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે. ઇન્ડોર કણોને અસર કરતી એરફ્લોમાં મુખ્યત્વે શામેલ છે: એર સપ્લાય એરફ્લો (પ્રાથમિક એરફ્લો અને ગૌણ એરફ્લો સહિત), એરફ્લો અને થર્મલ કન્વેક્શન એરફ્લો, લોકો વ walking કિંગથી થતાં, અને પ્રક્રિયા કામગીરી અને industrial દ્યોગિક ઉપકરણોને કારણે એરફ્લો. સ્વચ્છ રૂમમાં વિવિધ હવા પુરવઠા પદ્ધતિઓ, સ્પીડ ઇન્ટરફેસો, tors પરેટર્સ અને industrial દ્યોગિક સાધનો અને પ્રેરિત ઘટનાઓ સ્વચ્છતાના સ્તરને અસર કરતા બધા પરિબળો છે.

એરફ્લો સંસ્થાને અસર કરતા પરિબળો

1. હવા પુરવઠા પદ્ધતિનો પ્રભાવ

(1). હવાઈ ​​પુરવઠા ગતિ

સમાન એરફ્લો સુનિશ્ચિત કરવા માટે, વાયુ પુરવઠાની ગતિ એક દિશા નિર્દેશક ક્લીન રૂમમાં સમાન હોવી જોઈએ; હવા પુરવઠાની સપાટીનો ડેડ ઝોન નાનો હોવો જોઈએ; અને યુએલપીએમાં દબાણ ઘટાડવું પણ સમાન હોવું જોઈએ.

સમાન હવા પુરવઠાની ગતિ: એટલે કે, એરફ્લોની અસમાનતા ± 20%ની અંદર નિયંત્રિત થાય છે.

હવાઈ ​​પુરવઠાની સપાટી પર ઓછા ડેડ ઝોન: યુએલપીએ ફ્રેમનો વિમાન વિસ્તાર ઓછો થવો જોઈએ નહીં, પરંતુ વધુ મહત્ત્વની વાત એ છે કે, રીડન્ડન્ટ ફ્રેમને સરળ બનાવવા માટે મોડ્યુલર એફએફયુ અપનાવવું જોઈએ.

Vert ભી એક દિશા નિર્દેશક એરફ્લોની ખાતરી કરવા માટે, ફિલ્ટરની પ્રેશર ડ્રોપ પસંદગી પણ ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ છે, જેમાં ફિલ્ટરમાં દબાણનું નુકસાન વિચલિત ન થઈ શકે.

(2). એફએફયુ સિસ્ટમ અને અક્ષીય પ્રવાહ ચાહક સિસ્ટમ વચ્ચેની તુલના

એફએફયુ એ ચાહક અને ફિલ્ટર (યુએલપીએ) સાથે એર સપ્લાય યુનિટ છે. એફએફયુના સેન્ટ્રીફ્યુગલ ચાહક દ્વારા હવા ચૂસી લીધા પછી, ગતિશીલ દબાણને હવાના નળીમાં સ્થિર દબાણમાં ફેરવવામાં આવે છે અને યુએલપીએ દ્વારા સમાનરૂપે ફૂંકાય છે. છત પર હવા પુરવઠો દબાણ નકારાત્મક દબાણ છે, જેથી ફિલ્ટર બદલવામાં આવે ત્યારે કોઈ ધૂળ સ્વચ્છ રૂમમાં ન આવે. પ્રયોગોએ બતાવ્યું છે કે એફએફયુ સિસ્ટમ એર આઉટલેટ એકરૂપતા, એરફ્લો સમાંતર અને વેન્ટિલેશન કાર્યક્ષમતા સૂચકાંકની દ્રષ્ટિએ અક્ષીય પ્રવાહ ચાહક સિસ્ટમ કરતા શ્રેષ્ઠ છે. આ એટલા માટે છે કારણ કે એફએફયુ સિસ્ટમની એરફ્લો સમાંતર વધુ સારી છે. એફએફયુ સિસ્ટમનો ઉપયોગ ક્લીન રૂમમાં એરફ્લોને વધુ સારી રીતે ગોઠવી શકે છે.

()). એફએફયુની પોતાની રચનાનો પ્રભાવ

એફએફયુ મુખ્યત્વે ચાહકો, ફિલ્ટર્સ, એરફ્લો માર્ગદર્શિકા ઉપકરણો અને અન્ય ઘટકોથી બનેલું છે. અલ્ટ્રા-ઉચ્ચ કાર્યક્ષમતા ફિલ્ટર યુએલપીએ એ ક્લીન રૂમ ડિઝાઇનની આવશ્યક સ્વચ્છતા પ્રાપ્ત કરી શકે છે કે કેમ તે માટેની સૌથી મહત્વપૂર્ણ બાંયધરી છે. ફિલ્ટરની સામગ્રી પણ પ્રવાહ ક્ષેત્રની એકરૂપતાને અસર કરશે. જ્યારે ફિલ્ટર આઉટલેટમાં બરછટ ફિલ્ટર સામગ્રી અથવા લેમિનર ફ્લો પ્લેટ ઉમેરવામાં આવે છે, ત્યારે આઉટલેટ ફ્લો ફીલ્ડ સરળતાથી સમાન બનાવી શકાય છે.

2. સ્વચ્છતાના વિવિધ ગતિ ઇન્ટરફેસોની અસર

તે જ સ્વચ્છ રૂમમાં, કાર્યકારી ક્ષેત્ર અને vert ભી એક દિશા નિર્દેશક પ્રવાહના બિન-કાર્યકારી ક્ષેત્રની વચ્ચે, યુએલપીએ આઉટલેટમાં હવાની ગતિમાં તફાવત હોવાને કારણે, મિશ્રિત વમળ અસર ઇન્ટરફેસ પર પેદા થશે, અને આ ઇન્ટરફેસ એક તોફાની બનશે. ખાસ કરીને high ંચી હવાઈ અસ્થિરતા સાથે હવા પ્રવાહ ઝોન. કણો ઉપકરણોની સપાટી પર સંક્રમિત થઈ શકે છે અને ઉપકરણો અને વેફરને દૂષિત કરે છે.

3. સ્ટાફ અને સાધનોની અસર

જ્યારે સ્વચ્છ ઓરડો ખાલી હોય છે, ત્યારે રૂમમાં હવાના પ્રવાહની લાક્ષણિકતાઓ સામાન્ય રીતે ડિઝાઇન આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરે છે. એકવાર ઉપકરણો સ્વચ્છ રૂમમાં પ્રવેશ્યા પછી, કર્મચારીઓની ચાલ અને ઉત્પાદનો પ્રસારિત થાય છે, ત્યાં હવા પ્રવાહ સંસ્થામાં અનિવાર્યપણે અવરોધો હશે. ઉદાહરણ તરીકે, સાધનસામગ્રીના બહાર નીકળેલા ખૂણા અથવા ધાર પર, ગેસને તોફાની ઝોન બનાવવા માટે ફેરવવામાં આવશે, અને ઝોનમાં પ્રવાહી સરળતાથી ગેસ દ્વારા દૂર રાખવામાં આવતું નથી, આમ પ્રદૂષણનું કારણ બને છે. તે જ સમયે, સતત કામગીરીને કારણે ઉપકરણોની સપાટી ગરમ થઈ જશે, અને તાપમાનના grad ાળ મશીનની નજીક રિફ્લો ઝોનનું કારણ બનશે, જે રિફ્લો ઝોનમાં કણોના સંચયમાં વધારો કરશે. તે જ સમયે, temperature ંચા તાપમાને સરળતાથી કણો છટકી જશે. ડ્યુઅલ અસર એકંદર ical ભી લેમિનર સ્વચ્છતાને નિયંત્રિત કરવાની મુશ્કેલીમાં વધારો કરે છે. ક્લીન રૂમમાં tors પરેટર્સની ધૂળ આ રિફ્લો ઝોનમાં વેફરનું પાલન કરવું ખૂબ જ સરળ છે.

4. રીટર્ન એર ફ્લોરનો પ્રભાવ

જ્યારે ફ્લોરમાંથી પસાર થતી રીટર્ન હવાનો પ્રતિકાર અલગ હોય છે, ત્યારે દબાણ તફાવત પેદા થશે, જેથી હવા ઓછી પ્રતિકારની દિશામાં વહેશે, અને સમાન એરફ્લો પ્રાપ્ત થશે નહીં. વર્તમાન લોકપ્રિય ડિઝાઇન પદ્ધતિ એલિવેટેડ ફ્લોરનો ઉપયોગ કરવાની છે. જ્યારે એલિવેટેડ ફ્લોરનો પ્રારંભિક દર 10%હોય છે, ત્યારે રૂમની કાર્યકારી height ંચાઇમાં એરફ્લો વેગ સમાનરૂપે વિતરિત કરી શકાય છે. આ ઉપરાંત, ફ્લોરના પ્રદૂષણ સ્ત્રોતને ઘટાડવા માટે સફાઈના કામ પર કડક ધ્યાન આપવું જોઈએ.

5. ઇન્ડક્શન ઘટના

કહેવાતી ઇન્ડક્શન ઘટના એ ઘટનાનો સંદર્ભ આપે છે કે સમાન પ્રવાહની વિરુદ્ધ દિશામાં હવા પ્રવાહ ઉત્પન્ન થાય છે, અને ઓરડામાં ઉત્પન્ન થતી ધૂળ અથવા અડીને દૂષિત વિસ્તારમાં ધૂળ અપવિન્ડ બાજુ તરફ પ્રેરિત છે, જેથી ધૂળ ચિપ દૂષિત કરી શકે છે. નીચેની સંભવિત ઇન્ડક્શન ઘટના છે:

(1). આંધળી

દિવાલ પરના સાંધાને લીધે, ical ભી એક દિશા નિર્દેશક પ્રવાહવાળા સ્વચ્છ રૂમમાં, સામાન્ય રીતે મોટી અંધ પ્લેટો હોય છે જે સ્થાનિક વળતર પ્રવાહમાં અસ્થિરતા પેદા કરશે.

(2). ડાલ

ક્લીન રૂમમાં લાઇટિંગ ફિક્સરનો વધુ પ્રભાવ પડશે. ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પ્સની ગરમીથી એરફ્લો વધવાનું કારણ બને છે, તેથી ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પ્સ હેઠળ કોઈ તોફાની વિસ્તાર નહીં હોય. સામાન્ય રીતે, ક્લીન રૂમમાં લેમ્પ્સ એરફ્લો સંસ્થા પરના દીવાઓની અસરને ઘટાડવા માટે આંસુના આકારમાં બનાવવામાં આવે છે.

(3.) દિવાલો વચ્ચેના ગાબડા

જ્યારે વિવિધ સ્વચ્છતાના સ્તરવાળા પાર્ટીશનો વચ્ચે અથવા પાર્ટીશનો અને છત વચ્ચેના ગાબડા હોય છે, ત્યારે ઓછી સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓવાળા વિસ્તારમાંથી ધૂળ ઉચ્ચ સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓવાળા નજીકના વિસ્તારમાં સ્થાનાંતરિત થઈ શકે છે.

(4). મશીન અને ફ્લોર અથવા દિવાલ વચ્ચેનું અંતર

જો મશીન અને ફ્લોર અથવા દિવાલ વચ્ચેનું અંતર ખૂબ નાનું હોય, તો તે રીબાઉન્ડ અશાંતિનું કારણ બનશે. તેથી, ઉપકરણો અને દિવાલ વચ્ચેનું અંતર છોડી દો અને મશીનને સીધા જ જમીનને સ્પર્શ કરવા દેવા માટે મશીન ઉભા કરો.