સ્વચ્છ રૂમમાં તાપમાન અને હવાના દબાણનું નિયંત્રણ

પર્યાવરણીય સંરક્ષણ પર વધુને વધુ ધ્યાન આપવામાં આવે છે, ખાસ કરીને ધુમ્મસના હવામાનમાં વધારો સાથે. સ્વચ્છ રૂમ એન્જીનીયરીંગ એ પર્યાવરણીય સુરક્ષાના પગલાં પૈકી એક છે. પર્યાવરણીય સંરક્ષણમાં સારી નોકરી કરવા માટે સ્વચ્છ રૂમ એન્જિનિયરિંગનો ઉપયોગ કેવી રીતે કરવો? ચાલો ક્લીન રૂમ એન્જિનિયરિંગમાં નિયંત્રણ વિશે વાત કરીએ.

સ્વચ્છ રૂમમાં તાપમાન અને ભેજનું નિયંત્રણ

સ્વચ્છ જગ્યાઓનું તાપમાન અને ભેજ મુખ્યત્વે પ્રક્રિયાની જરૂરિયાતોને આધારે નક્કી કરવામાં આવે છે, પરંતુ જ્યારે પ્રક્રિયાની જરૂરિયાતો પૂરી થાય છે, ત્યારે માનવ આરામને ધ્યાનમાં લેવો જોઈએ. હવા સ્વચ્છતા આવશ્યકતાઓમાં સુધારણા સાથે, પ્રક્રિયામાં તાપમાન અને ભેજ માટેની કડક આવશ્યકતાઓનું વલણ છે.

સામાન્ય સિદ્ધાંત તરીકે, પ્રક્રિયાની વધતી જતી ચોકસાઇને કારણે, તાપમાનની વધઘટ શ્રેણી માટેની જરૂરિયાતો નાની અને નાની થતી જાય છે. ઉદાહરણ તરીકે, મોટા પાયે સંકલિત સર્કિટ ઉત્પાદનની લિથોગ્રાફી અને એક્સપોઝર પ્રક્રિયામાં, માસ્ક સામગ્રી તરીકે ઉપયોગમાં લેવાતા કાચ અને સિલિકોન વેફર્સ વચ્ચેના થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંકમાં તફાવત વધુને વધુ નાનો બની રહ્યો છે.

જ્યારે તાપમાન 1 ડિગ્રી વધે છે ત્યારે 100 μm વ્યાસ ધરાવતું સિલિકોન વેફર 0.24 μm રેખીય વિસ્તરણનું કારણ બને છે. તેથી, ± 0.1 ℃ નું સતત તાપમાન જરૂરી છે, અને ભેજનું મૂલ્ય સામાન્ય રીતે ઓછું હોય છે કારણ કે પરસેવો પછી, ઉત્પાદન દૂષિત થશે, ખાસ કરીને સેમિકન્ડક્ટર વર્કશોપમાં જે સોડિયમથી ડરતા હોય છે. આ પ્રકારની વર્કશોપ 25℃ થી વધુ ન હોવી જોઈએ.

વધુ પડતી ભેજ વધુ સમસ્યાઓનું કારણ બને છે. જ્યારે સાપેક્ષ ભેજ 55% કરતા વધી જાય, ત્યારે ઠંડકના પાણીની પાઇપની દિવાલ પર ઘનીકરણ રચાય છે. જો તે ચોક્કસ ઉપકરણો અથવા સર્કિટમાં થાય છે, તો તે વિવિધ અકસ્માતોનું કારણ બની શકે છે. જ્યારે સાપેક્ષ ભેજ 50% હોય છે, ત્યારે તેને કાટ લાગવો સરળ છે. વધુમાં, જ્યારે ભેજ ખૂબ વધારે હોય, ત્યારે સિલિકોન વેફરની સપાટીને વળગી રહેલ ધૂળ હવામાં પાણીના અણુઓ દ્વારા સપાટી પર રાસાયણિક રીતે શોષાય છે, જેને દૂર કરવી મુશ્કેલ છે.

સાપેક્ષ ભેજ જેટલું ઊંચું છે, સંલગ્નતાને દૂર કરવું મુશ્કેલ છે. જો કે, જ્યારે સાપેક્ષ ભેજ 30% ની નીચે હોય છે, ત્યારે ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક બળની ક્રિયાને કારણે કણો પણ સપાટી પર સરળતાથી શોષાય છે, અને મોટી સંખ્યામાં સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણો તૂટી જવાની સંભાવના છે. સિલિકોન વેફર ઉત્પાદન માટે શ્રેષ્ઠ તાપમાન શ્રેણી 35-45% છે.

હવાનું દબાણનિયંત્રણસ્વચ્છ રૂમમાં 

મોટાભાગની સ્વચ્છ જગ્યાઓ માટે, બાહ્ય પ્રદૂષણને આક્રમણ કરતા અટકાવવા માટે, આંતરિક દબાણ (સ્થિર દબાણ) બાહ્ય દબાણ (સ્થિર દબાણ) કરતા વધારે જાળવવું જરૂરી છે. દબાણ તફાવતની જાળવણી સામાન્ય રીતે નીચેના સિદ્ધાંતોનું પાલન કરવું જોઈએ:

1. સ્વચ્છ જગ્યાઓમાં દબાણ બિન સ્વચ્છ જગ્યાઓ કરતા વધારે હોવું જોઈએ.

2. ઉચ્ચ સ્વચ્છતા સ્તરો ધરાવતી જગ્યાઓમાં દબાણ નીચા સ્વચ્છતા સ્તરો સાથે નજીકની જગ્યાઓ કરતા વધારે હોવું જોઈએ.

3. સ્વચ્છ ઓરડાઓ વચ્ચેના દરવાજા ઉચ્ચ સ્વચ્છતા સ્તરોવાળા ઓરડાઓ તરફ ખોલવા જોઈએ.

દબાણ તફાવતની જાળવણી તાજી હવાના જથ્થા પર આધાર રાખે છે, જે આ દબાણ તફાવત હેઠળના ગેપમાંથી હવાના લિકેજને વળતર આપવા સક્ષમ હોવી જોઈએ. તેથી દબાણ તફાવતનો ભૌતિક અર્થ એ છે કે સ્વચ્છ ઓરડામાં વિવિધ ગાબડાઓ દ્વારા લિકેજ (અથવા ઘૂસણખોરી) હવાના પ્રવાહનો પ્રતિકાર.