સ્વચ્છ રૂમમાં તાપમાન અને હવા દબાણ નિયંત્રણ

પર્યાવરણીય સંરક્ષણને વધુને વધુ ધ્યાન આપવામાં આવે છે, ખાસ કરીને ધુમ્મસ હવામાનના વધતા. ક્લીન રૂમ એન્જિનિયરિંગ એ પર્યાવરણીય સંરક્ષણ પગલાં છે. પર્યાવરણીય સંરક્ષણમાં સારી નોકરી કરવા માટે ક્લીન રૂમ એન્જિનિયરિંગનો ઉપયોગ કેવી રીતે કરવો? ચાલો ક્લીન રૂમ એન્જિનિયરિંગના નિયંત્રણ વિશે વાત કરીએ.

સ્વચ્છ રૂમમાં તાપમાન અને ભેજ નિયંત્રણ

સ્વચ્છ જગ્યાઓનું તાપમાન અને ભેજ મુખ્યત્વે પ્રક્રિયા આવશ્યકતાઓના આધારે નક્કી કરવામાં આવે છે, પરંતુ જ્યારે પ્રક્રિયાની આવશ્યકતાઓને પૂર્ણ કરે છે, ત્યારે માનવ આરામને ધ્યાનમાં લેવો જોઈએ. હવાની સફાઇ આવશ્યકતાઓના સુધારણા સાથે, તાપમાન અને પ્રક્રિયામાં ભેજ માટે સખત આવશ્યકતાઓનો વલણ છે.

સામાન્ય સિદ્ધાંત તરીકે, પ્રક્રિયાની વધતી ચોકસાઇને કારણે, તાપમાન વધઘટ શ્રેણી માટેની આવશ્યકતાઓ ઓછી અને ઓછી થઈ રહી છે. ઉદાહરણ તરીકે, મોટા પાયે એકીકૃત સર્કિટ ઉત્પાદનની લિથોગ્રાફી અને એક્સપોઝર પ્રક્રિયામાં, માસ્ક સામગ્રી તરીકે ઉપયોગમાં લેવામાં આવતા કાચ અને સિલિકોન વેફર વચ્ચે થર્મલ વિસ્તરણ ગુણાંકનો તફાવત વધુને વધુ નાનો બની રહ્યો છે.

100 μ મીમીના વ્યાસવાળા સિલિકોન વેફર 0.24 μ મીટરના રેખીય વિસ્તરણનું કારણ બને છે જ્યારે તાપમાન 1 ડિગ્રી દ્વારા વધે છે. તેથી, ± 0.1 of નું સતત તાપમાન જરૂરી છે, અને ભેજનું મૂલ્ય સામાન્ય રીતે ઓછું હોય છે કારણ કે પરસેવો પાડ્યા પછી, ઉત્પાદન દૂષિત થઈ જશે, ખાસ કરીને સેમિકન્ડક્ટર વર્કશોપમાં જે સોડિયમથી ડરતા હોય છે. આ પ્રકારની વર્કશોપ 25 ℃ કરતા વધુ ન હોવી જોઈએ.

અતિશય ભેજ વધુ સમસ્યાઓનું કારણ બને છે. જ્યારે સંબંધિત ભેજ 55%કરતા વધારે હોય છે, ત્યારે ઠંડક પાણીની પાઇપ દિવાલ પર કન્ડેન્સેશન રચાય છે. જો તે ચોકસાઇ ઉપકરણો અથવા સર્કિટમાં થાય છે, તો તે વિવિધ અકસ્માતોનું કારણ બની શકે છે. જ્યારે સંબંધિત ભેજ 50%હોય છે, ત્યારે તે રસ્ટ કરવું સરળ છે. આ ઉપરાંત, જ્યારે ભેજ ખૂબ વધારે હોય છે, ત્યારે સિલિકોન વેફરની સપાટીને વળગી રહેલી ધૂળ હવામાં પાણીના અણુઓ દ્વારા સપાટી પર રાસાયણિક રૂપે શોષાય છે, જેને દૂર કરવું મુશ્કેલ છે.

સંબંધિત ભેજ જેટલું .ંચું છે, સંલગ્નતાને દૂર કરવું તેટલું મુશ્કેલ છે. જો કે, જ્યારે સંબંધિત ભેજ 30%ની નીચે હોય છે, ત્યારે ઇલેક્ટ્રોસ્ટેટિક બળની ક્રિયાને કારણે કણો પણ સપાટી પર સરળતાથી શોષાય છે, અને મોટી સંખ્યામાં સેમિકન્ડક્ટર ઉપકરણો ભંગાણની સંભાવના છે. સિલિકોન વેફર ઉત્પાદન માટે શ્રેષ્ઠ તાપમાનની શ્રેણી 35-45%છે.

હવાઈ ​​દબાણનિયંત્રણસ્વચ્છ રૂમમાં 

મોટાભાગની સ્વચ્છ જગ્યાઓ માટે, બાહ્ય પ્રદૂષણને આક્રમણ કરતા અટકાવવા માટે, બાહ્ય દબાણ (સ્થિર દબાણ) કરતા વધુ આંતરિક દબાણ (સ્થિર દબાણ) જાળવવું જરૂરી છે. દબાણ તફાવતની જાળવણી સામાન્ય રીતે નીચેના સિદ્ધાંતોનું પાલન કરવી જોઈએ:

1. સ્વચ્છ જગ્યાઓ પરનું દબાણ બિન -સ્વચ્છ જગ્યાઓ કરતા વધારે હોવું જોઈએ.

2. ઉચ્ચ સ્વચ્છતા સ્તરવાળી જગ્યાઓ પરનું દબાણ નીચા સ્વચ્છતાના સ્તરવાળી અડીને જગ્યાઓ કરતા વધારે હોવું જોઈએ.

3. સ્વચ્છ ઓરડાઓ વચ્ચેના દરવાજા ઉચ્ચ સ્વચ્છતાના સ્તરવાળા ઓરડાઓ તરફ ખોલવા જોઈએ.

દબાણ તફાવતનું જાળવણી તાજી હવાના જથ્થા પર આધારિત છે, જે આ દબાણ તફાવત હેઠળના અંતરથી હવાના લિકેજને વળતર આપવા માટે સક્ષમ હોવું જોઈએ. તેથી દબાણ તફાવતનો શારીરિક અર્થ એ છે કે સ્વચ્છ રૂમમાં વિવિધ ગાબડા દ્વારા લિકેજ (અથવા ઘૂસણખોરી) હવાના પ્રવાહનો પ્રતિકાર છે.